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〖技术资料〗中国实验室用水国家标准与国家超纯水标准

2009-08-24 15:30:23

中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997

级别

        指标 

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm25

18以上(95%时间)不低于17

1595%时间)不低于13

µg/l

2

10

>1µM微粒数/ml

0.1

5

细菌个数/ml

0.01

0.1

µg/l

0.2

1

µg/l

0.2

1

µg/l

0.1

1

µg/l

0.5

2

µg/l

0.5

2

µg/l

1

1

硝酸根µg/l

1

1

磷酸根µg/l

1

1

硫酸根µg/l

1

1

总有机碳µg/l

20

100

中国电子行业超纯水国家标准

中国实验室用水国家标准GB6682-2000

 

 

 

 

 PH值范围(25

-

 - 

5.0-7.5

 电导率(25,mS/m 

 0.01

0.10

0.50

 比电阻(MΩ.cm.25

 10

1

0.2

 可氧化物质[以(0)计]mg/L

-

0.08

0.40

 < 吸光度(254nm,1cm 光程)

0.001

0.01

-

 蒸发残渣(105±2),mg/L

-

1.0

2.0

 可容性硅[以(sio2)计]mg/L<

0.01

0.02

-

中国实验室用水国家标准

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